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초고속플라즈마전자온도측정을통한2 MHz 유도결합플라즈마의전자가열및동력학적특성연구

정진욱

제목: 초고속플라즈마전자온도측정을통한2 MHz 유도결합플라즈마의전자가열및동력학적특성연구

저자: 정진욱

발행일: 2021-02-04

학회명: 제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회

개최지: 온라인