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초고속플라즈마전자온도측정을통한2 MHz 유도결합플라즈마의전자가열및동력학적특성연구

제목
초고속플라즈마전자온도측정을통한2 MHz 유도결합플라즈마의전자가열및동력학적특성연구
저자
정진욱
발행일
2021-02-04
학회명
제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
온라인

ScholarWorks@한양대학교

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