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병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선

제목
병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선
저자
정진욱
발행일
2023-05-10
학회명
2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회
개최지
제주대학교 아라컨벤션홀 대회의실(제주)

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