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Quasi-Damascene metal gate/high-k CMOS using oxygenation through gate electrodes
- 제목
- Quasi-Damascene metal gate/high-k CMOS using oxygenation through gate electrodes
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2009-06-30
- 학회명
- Insulating Films on Semiconductor (INFOS)
- 개최지
- Cambridge, UK 2009