A Facile Interface Passivation to Reduce Interface State (Nit) in Tunneling Field Effect Transistor (TFET) with ALD HfO2 and TiN Gate Stack

제목
A Facile Interface Passivation to Reduce Interface State (Nit) in Tunneling Field Effect Transistor (TFET) with ALD HfO2 and TiN Gate Stack
저자
최창환
발행일
2015-02-12
학회명
한국반도체학술대회
개최지
송도 컨벤시아