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자기 바이어스 현상을 이용한 전자온도 및 이온밀도 측정연구
정진욱
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제목
자기 바이어스 현상을 이용한 전자온도 및 이온밀도 측정연구
저자
정진욱
발행일
2008-08-20
학회명
한국진공학회 제3회 하계정기학술대회
개최지
라마다 호텔, 제주
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