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RF 바이어스가 인가된 유도 결합 플라즈마의 웨이퍼 위치 플라즈마 공간 분포 진단

제목
RF 바이어스가 인가된 유도 결합 플라즈마의 웨이퍼 위치 플라즈마 공간 분포 진단
저자
정진욱
발행일
2026-02-09
학회명
제 70회 한국 진공학회
개최지
Sono Calm Vivaldi Park, Hongcheon, Gangwon-do, Republic of Korea

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