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Effect of frequency on radial distribution of plasma potential in a dual-frequency capacitively coupled plasma
- 제목
- Effect of frequency on radial distribution of plasma potential in a dual-frequency capacitively coupled plasma
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2022-02-17
- 학회명
- 한국진공학회 제62회 동계정기학술대회
- 개최지
- 강원도 횡성 웰리힐리파크