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유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정

제목
유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정
저자
정진욱
발행일
2013-02-18
학회명
제 44회 한국진공학회(The 44th Winter Annual Conference of the Korean Vacuum Society)
개최지
휘닉스파크

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