Molecular Layer Deposition of Organic/Inorganic Nanohybrid Dielectrics for OTFTs

제목
Molecular Layer Deposition of Organic/Inorganic Nanohybrid Dielectrics for OTFTs
저자
성명모
발행일
2010-02-18
학회명
제38회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
현대성우리조트(강원도횡성)