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Distribution of Plasma Parameters at Wafer Level Measured by 2D Plasma Parameter Diagnostic Method in Inductively Coupled Plasmas
- 제목
- Distribution of Plasma Parameters at Wafer Level Measured by 2D Plasma Parameter Diagnostic Method in Inductively Coupled Plasmas
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2014-02-26
- 학회명
- 제21회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 한양대학교