상세 보기
IGZO 반도체 및 구리 전극의 deep-UV/IPL 광어닐링 공정을 통한 TFT 특성 연구
Study on all intense pulsed light (IPL) annealed thin film transistor (TFT) using IGZO semiconductor and Cu source drain via UV-assisted flash light irradiation
- 장용래;
- 문창진;
- 박종휘;
- 김학성
- 제목
- IGZO 반도체 및 구리 전극의 deep-UV/IPL 광어닐링 공정을 통한 TFT 특성 연구
- 제목 (타언어)
- Study on all intense pulsed light (IPL) annealed thin film transistor (TFT) using IGZO semiconductor and Cu source drain via UV-assisted flash light irradiation
- 저자
- 장용래; 문창진; 박종휘; 김학성
- 발행일
- 2019-04
- 유형
- Proceeding
- 저널명
- 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2019년도 춘계학술대회 논문집
- 페이지
- 43 ~ 44