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On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma (ICP)
- 제목
- On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma (ICP)
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2003-06-04
- 학회명
- IEEE Plasma Science
- 개최지
- 제주 롯데 호텔