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극저온 전자 온도 Ar/CF4 플라즈마에서 Si 웨이퍼 식각 특성 연구 

제목
극저온 전자 온도 Ar/CF4 플라즈마에서 Si 웨이퍼 식각 특성 연구 
저자
정진욱
발행일
2024-08-21
학회명
제67회 한국진공학회
개최지
Sinwha world jeju,korea

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