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Process Temperature Dependence on the Effective Work Function in the MOS Device with PEALD TiN Using TDMAT Source
- 제목
- Process Temperature Dependence on the Effective Work Function in the MOS Device with PEALD TiN Using TDMAT Source
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2016-02-23
- 학회명
- 한국반도체학술대회
- 개최지
- 하이원리조트, 강원도