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자료 필터
자료유형
발행연도
1995 ~ 2026
1995 2026
키워드
언어
전체 1,062건 중 221번부터 230번까지의 결과를 표시합니다.
2023
Conference
Experimental demonstration for the effect of EUV pellicle wrinkles on mask imaging performance
- 2023-01-27
Conference
Evaluation method for refractive index and extinction coefficient of EUV mask materials
- 2023-01-26
Article
Investigating the Degradation of EUV Transmittance of an EUV Pellicle Membrane
- 위성주 ;
- Jang, Yong Ju ;
- 이동기 ;
- 김선용 ;
- Ahn, Jinho
- 2023-01
- Membranes
- MDPI