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안진호

Ahn, Jinho

공과대학

신소재공학부

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연구분야

  • 재료공학
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연도별 연구 활동 현황

자료 필터

자료유형

발행연도

1995 ~ 2026
1995 2026

키워드

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전체 1,062건 중 211번부터 220번까지의 결과를 표시합니다.

2023
Conference

Alternative EUV mask absorber with platinum-based alloy for high-NA EUV lithography

  • 2023-03-08
Conference

Effect of pellicle wrinkles on EUV reflectivity and local critical dimension

  • 2023-03-01
Conference

Impact of MoSi2 crystal structure on nano-membrane emissivity

  • 2023-03-01
Conference

극자외선 펠리클용 나노미터 두께의 대면적 탄화 몰리브데넘 박막

  • 2023-02-14
Conference

Forming gas annealing에 의한 Ru/W interface에서의 산소 거동 연구

  • 2023-02-14
Conference

High-NA EUV용 Pt 기반 마스크 흡수 소재 연구

  • 2023-02-14
Conference

EUV 펠리클 적용을 위한 ZrSi2 박막 특성 연구

  • 2023-02-14
Conference

EUV 마스크 소재의 굴절계수 및 흡광계수 측정 방법 및 장치

  • 2023-02-14
Conference

SiNx passivation layer가 EUV 펠리클 방사 효율에 미치는 영향

  • 2023-02-14
Conference

High-k 소재 기반 high-NA EUV용 마스크 흡수 소재 연구

  • 2023-02-14

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