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정진욱

Chung, Chin Wook

공과대학

전기공학전공

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연구분야

  • 반도체 및 LCD 공정 장비 제어, 
  • 플라즈마 전자공학

자료 필터

자료유형

발행연도

2002 ~ 2026
2002 2026

키워드

언어

전체 720건 중 101번부터 110번까지의 결과를 표시합니다.

2024
Article

Abnormal behavior of the plasma potential in an inductively coupled plasma with a DC-biased grid

  • 2024-08
  • Plasma Sources Science and Technology
  • IOP Publishing Ltd
Article

Generation of high-density plasma via transparent electrode in capacitively coupled plasma

  • 2024-08
  • Plasma Sources Science and Technology
  • IOP Publishing Ltd