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최창환

Choi, Chang hwan

공과대학

신소재공학부

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연구분야

  • 반도체 소자 및 공정

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자료유형

발행연도

2002 ~ 2026
2002 2026

키워드

언어

전체 392건 중 231번부터 240번까지의 결과를 표시합니다.

2017
Article

The effects of process temperature on the work function modulation of ALD HfO₂ MOS device with plasma enhanced ALD TiN metal gate using TDMAT precursor

  • Kim, Young Jin ; 
  • Lim, Donghwan ; 
  • Han, Hoon Hee ; 
  • Sergeevich, Andrey Sokolov ; 
  • Jeon, Yu-Rim ; 
  • ... Choi, Changhwan ; 
  • 외 2명
  • 2017-06
  • Microelectronic Engineering
  • ELSEVIER
Article

Suppressed charge trapping characteristics of (NH₄)₂Sx passivated GaN MOS device with atomic layer deposited HfAlOx gate dielectric

  • Han, Hoon Hee ; 
  • Lim, Donghwan ; 
  • Sergeevich, Andrey Sokolov ; 
  • Jeon, Yu-Rim ; 
  • Lee, Jae Ho ; 
  • ... Choi, Changhwan ; 
  • 외 1명
  • 2017-06
  • Microelectronic Engineering
  • ELSEVIER