정진욱

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2023

Conference

Electron Beam Energy Control Using multi-DC Grid in Ar/CF4 Inductively Coupled Plasma

정진욱

2023-03-06

Conference

Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구

정진욱

2023-02-10

Conference

Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구

정진욱

2023-02-10

Conference

Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정

정진욱

2023-02-10

Conference

유도 결합 플라즈마에서 바이어스 전력에 따른 웨이퍼 위치에서의 전자 온도 및 이온 밀도 측정

정진욱

2023-02-10

Conference

평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구

정진욱

2023-02-10

Conference

유도 결합 플라즈마에서 극저온 기판 온도와 플라즈마 상호 의존성 연구

정진욱

2023-02-10

Conference

유도 결합 플라즈마에서 안테나의 권선수에 따른 병렬 공진 효과 연구

정진욱

2023-02-10

Conference

Pulsed plasma measurement using the floating harmonic method with high-time resolution

정진욱

2023-02-10

Conference

유도 결합 플라즈마에서 π-type 매칭 네트워크 전력 전달 효율 측정 연구

정진욱

2023-02-10

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정진욱

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Electron Beam Energy Control Using multi-DC Grid in Ar/CF4 Inductively Coupled Plasma

Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구

Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구

Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정

유도 결합 플라즈마에서 바이어스 전력에 따른 웨이퍼 위치에서의 전자 온도 및 이온 밀도 측정

평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구

유도 결합 플라즈마에서 극저온 기판 온도와 플라즈마 상호 의존성 연구

유도 결합 플라즈마에서 안테나의 권선수에 따른 병렬 공진 효과 연구

Pulsed plasma measurement using the floating harmonic method with high-time resolution

유도 결합 플라즈마에서 π-type 매칭 네트워크 전력 전달 효율 측정 연구