정진욱

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2023

Conference

The effect of gradient DC magnetic field on ion density and electron temperature in the inductively coupled plasma

정진욱

2023-08-22

Conference

이중 주파수를 사용한 유도 결합 플라즈마의 구동 주파수 효과에 의한 전자에너지분포함수와 라디칼 밀도 제어 연구

정진욱

2023-08-22

Conference

극저온 전자 온도 플라즈마에서 고 종횡비 trench 구조의 Charging 전압 측정에 대한 실험적 연구

정진욱

2023-08-22

Conference

극저온 전자 온도 플라즈마에서 RF 바이어스에 따른 이온 에너지 분포 제어 연구

정진욱

2023-08-22

Conference

그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구

정진욱

2023-08-22

Conference

유도 결합 플라즈마에서 병렬 안테나의 공진 조건에 따른 플라즈마의 균일도 개선 연구

정진욱

2023-08-22

Conference

유도 결합 플라즈마에서 아치형 그리드(Arched Grid)를 통한 electron beam 생성 및 집속

정진욱

2023-08-21

Conference

Control of spatial plasma density distribution using parallel capacitor in an inductively coupled plasma

정진욱

2023-08-11

Conference

Effects of substrate cooling on the ion density in oxygen inductive discharge

정진욱

2023-08-10

Conference

Plasma density spatial distribution control in planar helical resonator

정진욱

2023-08-10

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정진욱

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The effect of gradient DC magnetic field on ion density and electron temperature in the inductively coupled plasma

이중 주파수를 사용한 유도 결합 플라즈마의 구동 주파수 효과에 의한 전자에너지분포함수와 라디칼 밀도 제어 연구

극저온 전자 온도 플라즈마에서 고 종횡비 trench 구조의 Charging 전압 측정에 대한 실험적 연구

극저온 전자 온도 플라즈마에서 RF 바이어스에 따른 이온 에너지 분포 제어 연구

그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구

유도 결합 플라즈마에서 병렬 안테나의 공진 조건에 따른 플라즈마의 균일도 개선 연구

유도 결합 플라즈마에서 아치형 그리드(Arched Grid)를 통한 electron beam 생성 및 집속

Control of spatial plasma density distribution using parallel capacitor in an inductively coupled plasma

Effects of substrate cooling on the ion density in oxygen inductive discharge

Plasma density spatial distribution control in planar helical resonator